تحقیق و پروژه معرفی و کاربرد میکروسکوپ الکترونی EPMA - دستگاه آنالیز EPMA

توضیحات:

پروژه معرفی و کاربرد میکروسکوپ الکترونی EPMA – دستگاه آنالیز EPMA

بخشی از متن:

انالیز عنصری مبتنی بر دو روش است :

1.روش های مبتنی بر الکترون

2.روش های مبتنی بر یون

 EPMA یکی از روش های مبتنی بر الکترون می باشد .

میکروپروب الکترونی ، میکروسکوپ الکترونی است که برای میکرو آنالیز اشعه ایکس و گرفتن تصاویر غیر مخرب از مواد جامعه طراحی شده است . با ترکیب وسایل که دارای اجزای مختلفی هستند ، می توان هم از قابلیت میکروسکوپ الکترونی انعکاسی وهم از طیف سنج فلورسانسی اشعه ایکس بهره برد  که خصوصیات اضافه شدن آن  ، قابلیت تمرکز برروی محل در حدود یک میکرو متر ، تصویر میکروسکوپ نوری و دقت در موقعیت یابی اتوماتیک در نمونه ها  می باشند .

مشخصات میکروپروب الکترونی

•یکی از روش های انالیز عنصری است .

•روشی تمام کیفی و تمام کمی است .

•مانند سایر میکروسکوپهای الکترونی،  EPMA  میتواند بزرگنمایی بیشتر از ده هزار برابر داشته باشد .

• بدون تخریب نمونه انالیز می گیرد .

•با حساسیت در حدود ppm انالیز می گیرد بالا و حساسیت تحلیلی نسبتاًبالا  ( کمتر از 5/. درصد برای عناصر عمده )

•درمقایسه با دیگر میکرو آنالیزورها ، آنالیز با دقت و صحت بالاتری ارائه می دهد   .

•EPMA  در مقایسه با سیستمهای SEM /EDS نتایج بسیار معتبرتری بدست می دهد و برتری دارد .

که دلیل آن، خصوصیات WDS ، حساسیت عمومی، آنالیز عناصر سبک می باشد.

• سیستم تحریک الکترونی و پایداری نمونه امکان پایداری شرایط و تکرار آزمایشات را بدست می دهد.  

•اتوماسیون کامپیوتری دستگاه و تفسیر آسان و مستقیم دستگاه سبب گردیده است که EPMA در رقابت با دستگاههای آنالیز مشابه از قابلیت بیشتری برخوردار باشد.

•دقت دستگاه بستگی به عنصر و زمینه داشته و بطور نسبی 1-3% می تواند باشد (برای Z<11 این مقدار بدتر است ) .

•ترکیب WD / ED این قابلیت را داراست تا به طور همزمان آنالیز بیش از 21 عنصر را انجام دهد .

•تعیین ضخامت و ترکیب فلزات از لایه هایی با ضخامت nm تا mm  در مواد لایه ای امکان پذیر است.

•تفکیک پذیری فاصله ای بالا .

•آشکار سازی بالا (در حدود 100PPM برای عناصر ناچیز ).

فهرست مطالب:

فصل اول :  تاریخچه    5

1-1- دستگاه Hillier و Baker      6

1-2-  دستگاه Hillier   6

1-3- دستگاه Castaing    7

1-4- دستگاه Buschmann   8

1-5- دستگاه Hitachi     8

1-6- سایر تحقیقات    9

فصل دوم :  معرفی میکروپروب الکترونی   10

2-1- مشخصات     11

2-2- دیگر خصوصیات   13

2-3- ارتباط با سایر علوم    13

2-4- کاربردهای کلی   14

2-5- کاربردهای نوعی    14

فصل سوم :  اساس کار 15

3-1- روش کار  16

3-2- اماده سازی نمونه   18

3-2-1- روش پولیش مقطع عرضی   19

3-3- اجزای تشکیل دهنده    20

 3-4- اشکارسازهای WDSوEDS     21

 3-4-1-  اشکارسازهای  EDS   21

3-4-2- اشکارسازهای WDS   24

3-4-3-  مقایسه اشکارسازهای  WDS و EDS    25

3-5- انالیز سطح وپوششها     27

3-6- انالیز کمی     28

3-7- فصل مشترک کامپیوتر – اپراتور   30

3-8-   EPMA در حال و اینده   31                            

فصل چهارم :  دستگاههای پیشرفته EPMA    32

4-1- مدل SX100    33

4-1-1- مشخصات   33

4-1-2- ویژگیها    33

4-2- مدل F JXA-8500   34

4-2-1- مشخصات     35

4-2-2- ویژگیها    35

4-3- مدل JEOL JXA-8900R   35

4-3-1- مشخصات   36

4-4- مدل JXA - 8200   36

4-4-1- مشخصات   36

4-4-2- ویژگیها    37                       

 فصل پنجم :  میزان اهمیت دستگاهها در فناوری نانو    38

5-1- درجه بندی میزان اهمیت دستگاهها در فناوری نانو   39

فصل ششم  :  مثال کاربردی   40                

6-1- شرح     41

فصل هفتم :  نتیجه گیری     42

7-1- شرح نتایج     43

منابع      44